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Nitto切割贴膜机
    发布时间: 2018-03-04 19:57    

晶圆贴膜机(全自动) NEL SYSTEM™
MA3000Ⅲ/MA2008IIR/ MA2008IIP

Nitto切割贴膜机

这是一款全自动晶圆贴膜机,可将切割胶带粘贴在晶圆背面/切割框架上,也可将保护胶带从有图案的晶圆表面剥离。


操作流程


特征


  • 具有前开式晶圆盒/开放式晶圆匣

  • 可用于薄晶圆

  • 同轴系统(可选)

  • 小(业内最小)

  • 保护胶带剥离性能提高

  • 可通过触摸面板和配方功能实现简易操作

  • 日志文件功能标准设备

  • 可添设晶圆映射扫描仪

  • 符合 SECS/GEM 标准

  • 符合 CE 标志 / SEMI S2/S8 规范要求


基本规格

  • 可用框架尺寸:300 mm/200 mm

  • 可用晶圆尺寸:300 mm/200 mm

  • 可用晶圆厚度:30 um 或更厚(同轴系统),50 um 或更厚(单独)

  • 吞吐量:卷胶带: 40 晶圆/小时 预切胶带: 45 晶圆/小时


产品中心
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